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经营范围
发明名称
微影装置及元件制造方法
摘要
在一种微影投影装置中,一密封构件围绕于一投影系统之最终元件与微影投影装置之基板之间之一空间,一气封形成于该密封构件与该基板表面之间,以利拘限该空间内之液体。
申请公布号
TW200426521
申请公布日期
2004.12.01
申请号
TW092131527
申请日期
2003.11.11
申请人
ASML公司
发明人
茄利 罗夫;安东尼斯 瑟多斯 安那 玛利亚 达克森;THEODORUS, ANNA, MARIA DERKSEN;克利斯汀 爱利克安德 护根担;HOOGENDAM;爱立克 罗劳夫 鲁丝垂;赛多斯 玛利那 谋德曼;乔奈思 嘉瑟琳那 哈博特司 姆肯斯;HUBERTUS, MULKENS;罗夫 爱寇 赛布兰;卡拉司 赛门;乔安那 斯朶尔 戴 斯密特;爱利克安德 斯崔捷;包博 斯崔夫克;海莫 范 参登;爱克夏 寇兰辛嘉寇
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
荷兰
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