支持基板上の薄いガラスの結合物品、その製造方法およびその使用

摘要

本発明は結合物品の製造方法であって、薄いガラス基板を支持基板上に、いかなる中間層もなく、外部圧力の支援を用いた静電付着工程によって結合し、前記圧力は付着工程の間、ロールまたはホイールまたは曲がった表面を有する可動式装置などの器具を使用して一定または段階的に印加される前記方法に関する。前記結合物品は、結合界面において欠陥、例えば泡または包含物がなく、そのことは薄いガラス基板の輸送およびその後処理に有益である。そのような無欠陥の結合物品も開示される。２つの部品、例えば基板部品および支持部品の静電荷付着によって開始される圧力支援静電付着は、付着された表面の間の欠陥、ゆがみを最小化し、防ぎ、且つ除外することを可能にする。