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发明名称
VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05271937(A)
申请公布日期
1993.10.19
申请号
JP19920101621
申请日期
1992.03.27
申请人
发明人
分类号
C23C14/32;C23C14/56;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):C23C14/56
主分类号
C23C14/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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