发明名称 BAKING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0684782(A) 申请公布日期 1994.03.25
申请号 JP19920257291 申请日期 1992.08.31
申请人 SHARP CORP 发明人 KOYAMA TETSUAKI;MOMOSE HIDEHIKO;TANIGUCHI HIDEO
分类号 G02F1/13;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
地址