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发明名称
METHOD OF FABRICATING METAL WIRE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR0161883(B1)
申请公布日期
1999.02.01
申请号
KR19950012903
申请日期
1995.05.23
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
LEE, YONG-JONG;KIM, DO-HYUNG
分类号
H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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