发明名称 |
有机蒸镀材料用蒸镀装置、有机薄膜的制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种不会发生有机蒸镀材料的组成变化、分解、变质的蒸镀装置。在输送装置(30a、30b)上载置一张基板量的有机蒸镀材料,将其搬入到预先加热的蒸镀容器(12)内。由于有机蒸镀材料按每个基板而少量地被加热,放出有机材料蒸汽而用尽,所以,缩短了被加热的时间,不会发生基于水分的分解与变质。即使混合有不同的有机化合物,混合组成也不会变化,因此,可以预先将混合有母材和发色剂的有机蒸镀材料贮留在贮留槽(34a、34b)中,然后配置到输送装置(30a、30b)。 |
申请公布号 |
CN101356296A |
申请公布日期 |
2009.01.28 |
申请号 |
CN200780001375.8 |
申请日期 |
2007.05.11 |
申请人 |
株式会社爱发科 |
发明人 |
根岸敏夫 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01);H05B33/10(2006.01);H01L51/50(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
温大鹏 |
主权项 |
1、一种蒸镀装置,其特征在于,具有:真空槽;配置在前述真空槽的内部的蒸镀容器;配置蒸镀材料的供给装置;与前述蒸镀容器和前述供给装置连接的搭载槽;能够在前述搭载槽内与前述真空槽内之间移动,当位于前述搭载槽内时,从前述供给装置供给前述蒸镀材料的输送装置;和对前述蒸镀容器进行加热,从位于前述蒸镀容器内的前述蒸镀材料产生材料蒸汽,从前述蒸镀容器的放出口向前述真空槽内放出前述材料蒸汽的加热装置。 |
地址 |
日本神奈川县 |