| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kalibrierung einer Restgasanalyseeinrichtung, welche eine Messkammer (1) und einen Restgasanalysator (2) aufweist, wobei für die Kalibrierung eine Vielzahl von Qualifizierungskörpern (3) in der Messkammer (1) angeordnet werden und eine Ausgasmessung durchgeführt wird. Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Qualifizierung der Sauberkeit von Komponenten von Projektionsbelichtungsanlagen, bei welchem die Komponenten einer Restgasanalyse mit einer Restgasanalyseeinrichtung unterzogen werden. |
