发明名称 Photosensitive composition, compound for use in the photosensitive composition and pattern forming method using the photosensitive composition
摘要
申请公布号 EP1688791(A3) 申请公布日期 2008.04.16
申请号 EP20060001603 申请日期 2006.01.26
申请人 FUJIFILM CORPORATION 发明人 WADA, KENJI
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
地址