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发明名称 WAFER HOUSING TRANSFER DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0459516(A) 申请公布日期 1992.02.26
申请号 JP19900171065 申请日期 1990.06.28
申请人 TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD 发明人 NISHI HIRONOBU
分类号 B65G49/00;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
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