首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH08339895(A)
申请公布日期
1996.12.24
申请号
JP19950169209
申请日期
1995.06.12
申请人
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK
发明人
AOKI MAKOTO
分类号
H05H1/46;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
通过冷气喷涂形成涂层的方法
针对基于块的编码的编码模式选择
一种图像锐化方法以及相关装置
用于变矩器的试验装置
混合动力电动汽车牵引力分层控制方法
兔巴氏杆菌、兔波氏杆菌多重PCR检测用引物组和试剂盒及其检测方法
一种减反射高透过率镀膜太阳能超白压花玻璃及其制造方法
固体摄像装置及其制造方法
平台装置与曝光装置,以及元件制造方法
制造变压器铁芯片模、片料的方法和片模、片料
一种机载激光雷达激光发射指向扰动的补偿装置及方法
一种利用物理发泡致孔涂层技术生产服装用水性聚氨酯合成革的方法
PROCESS FOR PREPARING BENZOXABOROLES
METAL SCAVENGING POLYMERS
用于在通信网络中基于政策的管理的方法和系统
JOINTED ROD
通信系统的信道编码方法
Device for sharpening knives of a knife ring for a knife ring flaker
谷氨酸结晶的生产方法
REFRESHING CARBONATED BEVERAGE CONTAINING GRAIN DECOMPOSITION PRODUCTS WITH FOAM