包含一碳化形成材料及陶瓷相之化学气相沉积钻石涂层合成基板及其制造方法

摘要

本发明揭示一种合成材料及其制造方法，该合成材料包括涂敷至陶瓷材料与一未反应之碳化形成材料的一合成基板之化学气相沉积钻石涂层，该合成基板可以是各种配置并可应用至多种应用。该合成材料的一范例系SiC与游离矽金属之合成物，该合成物称为反应键结碳化矽。本发明之应用之数个范例包括：1)用于抛光垫(包括用于化学机械平面化之垫)之修整之头或碟，2)切削及修整工具之插入物与尖端，3)电子装置之散热器，及4)包括机械密封与帮浦密封之磨损组件。