| 发明名称 |
DUST MEASUREMENT DEVICE, DUST MEASUREMENT METHOD AND FILM FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08327528(A) |
申请公布日期 |
1996.12.13 |
| 申请号 |
JP19950131557 |
申请日期 |
1995.05.30 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
HASEGAWA TADASHI;OKAMOTO KENJI |
| 分类号 |
G01N15/02;C23C14/00;G01N15/06;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/66;(IPC1-7):G01N15/06 |
主分类号 |
G01N15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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