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发明名称
CLEANING METHOD OF FINE MACHINING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0855838(A)
申请公布日期
1996.02.27
申请号
JP19940210714
申请日期
1994.08.12
申请人
SONY CORP
发明人
YAMANE TETSUYA
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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