可延长处理腔室组件，使用期限和处理腔室效能的沈积环和覆盖环

摘要

本发明揭示一种可延长处理腔室组件使用期限和处理腔室效能的沈积环和盖环。含有一突出表面的沈积环相对于含有一凹入表面的盖环分隔设置。一涂层覆盖住该沈积环和该盖环的指定表面，以改善沈积材料的附着力。