发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND RETICLE FOR WIRING
摘要
申请公布号 JPH10163210(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19970199967 申请日期 1997.07.25
申请人 KAWASAKI STEEL CORP;PIONEER VIDEO CORP;PIONEER ELECTRON CORP 发明人 MIZUNO MAKOTO;SHIMIZU TOSHIHIRO;FUJISHIMA MASAAKI;HANIWARA KOJI;TSUCHIYA ITARU;YAGI YASUO
分类号 G06F17/50;H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 G06F17/50
代理机构 代理人
主权项
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