用以蚀刻含铪钼之合金材料的蚀刻液及使用此蚀刻液的蚀刻方法及其应用

摘要

一种用以蚀刻含铪钼之合金材料的蚀刻液，其组成至少包括含量为20wt%至80wt%的硝酸、含量为1wt%至49wt%的氢氟酸、含量为1wt%至96wt%的硫酸以及含量为1wt%至30wt%的水。