一种同时采用MEMS平动与扭转微镜的微型傅里叶红外光谱仪

摘要

本发明为一种融合了MEMS平动微镜与扭转微镜技术的傅里叶红外光谱仪系统，包括主干涉仪和辅助干涉仪系统两个子系统，主、辅两个干涉仪共用一个平动微镜。其中的扭转微镜采用扭力梁结构，静电或磁感应方式驱动，可以实现高速旋转摆动，频率从几十赫兹至几千赫兹，转动角度达最高到五十度。而其中的平动微镜采用弹簧振动结构，可以实现微镜面的平动，平动频率达到百赫兹以上，平动范围可以达到百微米以上。这些微镜均具有无摩擦，高重复，高稳定性等特点，由于微镜尺寸小，质量小，惯性和转动惯量小，所以具有极好的抗震性，可以实现微型干涉仪。

主权项

一种融合了MEMS平动微镜与扭转微镜技术的傅里叶红外光谱仪系统，它由红外分束器(1)、第一固定镜(2)、扭转微镜(3)、平动微镜(4)、第一探测器(5)、第二探测器(6)、半导体激光光源(7)、激光分束镜(8)、第二固定镜(9)、相位延时器(10)、反射镜(11)、第三探测器(12)第四探测器(13)组成；所述光谱仪包括主干涉仪和辅助干涉仪系统两个子系统，且主、辅两个干涉仪共用一个平动微镜(4)；其特征在于：在傅里叶红外光谱测量系统中同时采用MEMS平动微镜和扭转微镜。