具有电阻尖端的半导体探针及其制作方法、和具有该半导体探针的信息记录装置、信息复制装置和信息测量装置

摘要

提出一种具有电阻尖端的半导体探针、制作半导体探针的方法以及使用半导体探针来记录和复制信息的方法。半导体探针包括尖端和悬臂梁。尖端掺杂有第一杂质。尖端位于悬臂梁的端部上。尖端包括电阻区域和第一、第二半导体电极区域。电阻区域位于尖端顶点，且轻度掺杂有不同于第一杂质的第二杂质。第一和第二半导体电极区域重度掺杂有第二杂质且与电阻区域接触。

主权项

1、一种半导体探针，包括：掺杂有第一杂质的尖端；和具有一端部的悬臂梁，所述尖端定位于所述端部上，其中所述尖端包括：位于所述尖端的顶点处且轻度掺杂有导电类型不同于所述第一杂质的第二杂质的电阻区域；和形成于所述尖端的顶点周围的斜面上的第一和第二半导体电极区域，重度掺杂有所述第二杂质且与所述电阻区域接触。