用于将电磁微波辐射施加于等离子体腔室中的装置

摘要

本发明涉及一种装置，所述装置用于在使用时于一个等离子体腔室中施加电磁微波辐射，上述等离子体腔室在一个外壳中存在，基本上围绕一第一轴线成圆筒形对称，并且装置包括一个圆筒形壁，所述圆筒形壁具有一个圆周狭缝，上述等离子体腔室通过上述狭缝与一个细长波导向器的第一端连通，上述细长的波导向器具有一个纵向上延伸的第二轴线，上述装置在使用时通过上述微波导向器的另一端与微波发生装置连通，其中所产生的电磁微波辐射可以包括若干波型。本发明的目的是提供如本说明书中所涉及的一种微波发生器，利用上述微波发生器一方面可以产生和保持一种具有上述有利几何性能的稳定等离子体，并且此外在它的构造尺寸方面没有任何限制。为了完成那个目的，微波发生器其特征在于：装置包括使用时在狭缝中产生微波辐射的装置，上述微波辐射至少在一个垂直于传播方向的方向上只有一种电磁场分布。因为电磁微波辐射的性能不再构成一种未知和不能预料的因素，所以在等离子体腔室中产生一种更稳定和几何上更均匀的等离子体。

主权项

1.用于在使用时于一个等离子体腔室中施加电磁微波辐射的装置，上述等离子体腔室于一个外壳内存在，基本上是围绕一个第一轴线成圆筒形对称，并且包括一个圆筒形壁，所述圆筒形壁具有一个圆周狭缝，上述等离子体腔室通过上述狭缝与一个细长微波导向器的第一端连通，上述细长微波导向器具有一个纵向延伸的第二轴线，上述装置在使用时通过上述微波导向器的另一端与微波发生装置连通，其中产生的电磁微波辐射可以包括若干波型，其特征在于：装置包括在使用时于狭缝中产生微波辐射的装置，上述微波辐射至少在一个垂直于传播方向的方向上只有一种电磁场分布。