发明名称 Spektralphotometer
摘要 Zweistrahl-Spektralphotometer, umfassend: eine Lichtquelle (1), die zur Erzeugung von Licht einer Mehrzahl von Wellenlängenkomponenten geeignet ist; ein Spektroskop (2), das zur Zerlegung von einfallendem, von der Lichtquelle emittiertem Licht in monochromatisches Licht befähigt ist und das monochromatische Licht einer ausgewählten Wellenlänge emittiert; einen Lichtteiler (3), der zur Teilung des vom Spektroskop emittierten Ausgangslichts in ein erstes Messlicht (4a) zur Bestrahlung einer Referenzprobe und in ein zweites Messlicht (6a) zur Bestrahlung einer Zielprobe befähigt ist; einen Photodetektor (8), der zur Erfassung eines ersten Transmissionslichtstrahls (4b), der durch die Referenzprobe gegangen ist, und eines zweiten Transmissionslichtstrahls (6b), der durch die Zielprobe gegangen ist, befähigt ist; eine Eingangsseiten-Schlitzplatte (12, 18), die auf einem optischen Weg des einfallenden Lichts angeordnet ist und einen Eingangsschlitz (12a, 18a) umfasst, der so ausgebildet ist, dass die Schlitzbreite entsprechend einer speziellen Antriebsverschiebung der Schlitzplatte kontinuierlich erweitert oder verengt wird; eine Ausgangsseiten-Schlitzplatte (12, 20) auf dem optischen Weg des Ausgangslichts, die einen Ausgangsschlitz (12b, 20a) aufweist, der ähnlich wie der Eingangsschlitz ausgebildet ist; einen Schrittmotor (13), der zum Bewegen der Eingangsseiten-Schlitzplatte und der Ausgangsseiten-Schlitzplatte in Verbindung miteinander in gleicher Richtung befähigt ist; und eine Schlitzsteuereinheit (10), die dazu befähigt ist, den ersten oder den zweiten Transmissionsstrahl (4b, 6b), der die höhere Lichtmenge aufweist, als Referenztransmissionsstrahl zu nehmen, wobei die Schlitzsteuereinheit festlegt, wie weit der Schrittmotor die Eingangsseiten-Schlitzplatte und die Ausgangsseiten-Schlitzplatte verschiebt, so dass die Lichtmenge des Referenztransmissionsstrahls in einen vorgegebenen Bereich fällt, wobei: ...
申请公布号 DE102014008601(B4) 申请公布日期 2016.10.13
申请号 DE20141008601 申请日期 2014.06.10
申请人 Hitachi High-Technologies Corporation 发明人 Sasano, Naoki;Kurimoto, Daisuke;Nakamura, Satoshi
分类号 G01J3/04;G01J3/02;G01N21/27 主分类号 G01J3/04
代理机构 代理人
主权项
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