| 发明名称 | 用于集成电路切割装置卡盘的供应机构 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于集成电路切割装置卡盘的供应机构。切割衬底以形成分选分离单元的系统，包括：将所述衬底装入导轨系统的盒子，该导轨系统与卡盘台装置连通；所述卡盘台装置适合于将衬底切割成保持在预定空间配置中的分离单元，所述卡盘台装置包括多个卡盘台，其中所述衬底被装到所述多个卡盘台上，至少一个卡盘台定位在单独的轨道上并可在其上移动；切割装置，用于从衬底分离所述单元；和保持装置，用于对应分离前的各分离单元在衬底中的位置保持各分离单元在所述预定空间配置中的相对位置；所述切割装置包括具有与每个轨道相关的至少一个轴的切刃，至少一个刃具位于所述轴上，翻转所述衬底同时保持预定空间配置的翻转装置；分离并控制单个单元的网块组件；以及有效分离分离单元的分选和分类装置。 | ||
| 申请公布号 | CN101459056A | 申请公布日期 | 2009.06.17 |
| 申请号 | CN200810189698.0 | 申请日期 | 2005.08.23 |
| 申请人 | 洛克系统有限公司 | 发明人 | 杨海春 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 杨娟奕 |
| 主权项 | 1. 一种切割衬底以形成分选分离单元的系统，包括：将所述衬底装入导轨系统的盒子，该导轨系统与卡盘台装置连通；所述卡盘台装置适合于将衬底切割成保持在预定空间配置中的分离单元，所述卡盘台装置包括多个卡盘台，其中所述衬底被装到所述多个卡盘台上，至少一个卡盘台定位在单独的轨道上并可在其上移动；切割装置，用于从衬底分离所述单元；和保持装置，用于对应分离前的各分离单元在衬底中的位置保持各分离单元在所述预定空间配置中的相对位置；所述切割装置包括具有与每个轨道相关的至少一个轴的切刃，至少一个刃具位于所述轴上，翻转所述衬底同时保持预定空间配置的翻转装置；分离并控制单个单元的网块组件；以及有效分离分离单元的分选和分类装置。 | ||
| 地址 | 新加坡商业中心 | ||