发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01175756(A) 申请公布日期 1989.07.12
申请号 JP19870334048 申请日期 1987.12.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 EMA TAIJI
分类号 H01L23/522;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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