发明名称 BISMUTH AMIDE COMPOUNDS AND COMPOSITIONS, AND METHOD OF FORMING BISMUTH-CONTAINING FILMS THEREWITH
摘要
申请公布号 EP1030855(A1) 申请公布日期 2000.08.30
申请号 EP19980912103 申请日期 1998.03.26
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 GLASSMAN, TIMOTHY, E.;BHANDARI, GAUTAM;BAUM, THOMAS, H.
分类号 C07F9/94;C23C16/40;G02F1/00;G02F1/05;(IPC1-7):C07F9/70;B32B9/00;C07F9/90;C23C16/00;G02F1/135 主分类号 C07F9/94
代理机构 代理人
主权项
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