发明名称 METHOD FOR FABRICATING GATE ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR DEVICE TO PREVENT BORON IONS FROM PENETRATING POLYCRYSTALLINE SILICON AND GATE OXIDE LAYER AT HIGH TEMPERATURE
摘要
申请公布号 KR100504188(B1) 申请公布日期 2005.07.20
申请号 KR19970079368 申请日期 1997.12.30
申请人 MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. 发明人 LEE, JONG GON
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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