| 摘要 |
하나 이상의 유기규소 및/또는 테트라알킬 오르쏘실리케이트 가스들일 수 있는 하나 이상의 전구체 가스들, 예를 들어, 하나 이상의 규소-함유 가스들은 가공 챔버에 도입되고, 라디칼들에 노출된다. 본원에 기술된 기술들을 이용하여 증착된 유전체막들은 규소를 함유할 수 있다. 증착된 막들은 적은 결함들, 낮은 수축, 및 높은 에치 선택성, 기계적 안정성, 및 열 안정성을 나타낼 수 있다. 일부 구체예들에서, 증착된 막은 수소 부재일 수 있다. 증착 조건들은 매우 온화할 수 있으며, 이에 따라, UV 방사선 및 이온 충격으로부터의 기판 및 증착시 막들에 대한 손상이 최소화되거나 존재하지 않는다. |
