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发明名称
镶嵌研磨垫及其制造方法
摘要
一种兼具所需硬度与可压缩性之镶嵌研磨垫的制造方法,利用表面处理或是两步骤射出成型技术来让研磨垫的表面具有软硬度不同之区域,以控制研磨垫的硬度与可压缩性。
申请公布号
TW200601426
申请公布日期
2006.01.01
申请号
TW094121469
申请日期
2005.06.27
申请人
智胜科技股份有限公司
发明人
施文昌
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
台中市北屯区工业区十六路7号2楼
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