| 摘要 |
<p>Erfindungsgemäß wird eine Vorrichtung zur Halterung und zum Schutz von Gegenständen bereitgestellt, welche eine Basis, an der Basis angeordnete Wände, welche einen äußeren Bereich und einen inneren Bereich definieren, zumindest eine Zuführung zu dem äußeren Bereich, zumindest eine Zuführung zu dem inneren Bereich und Mittel aufweist, um im äußeren Bereich (über die Zuführung) einen Überdruck gegenüber einem Umgebungsdruck zu erzeugen. Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird eine Halterungsmöglichkeit bereitgestellt, die auch bei kleinen Umgebungsdrücken (< 30 Torr) eingesetzt werden kann, bei denen keine Halterung über den sogenannten 'Bernoulli-Effekt' möglich ist. Insbesondere wird eine Halterungsmöglichkeit bereitgestellt, bei der während eines Vakuumprozesses die Rückseite einer Siliziumscheibe nicht mehr berührt werden muß.</p> |
