Zweidimensionale Plattform mit verstellbarer Steifigkeit und Frequenz nach dem Prinzip der Spannungssteifigkeit

摘要

Die Erfindung betrifft eine zweidimensionale Plattform mit verstellbarer Steifigkeit und Frequenz nach dem Prinzip der Spannungssteifigkeit, die auf eine präzise XY-Bewegungsplattform angewendet wird und eine X-Richtungs-Bewegungsplattform, eine Y-Richtungs-Bewegungsplattform, einen X-Richtungs-Antrieb, einen Y-Richtungs-Antrieb und eine Feinbewegungs-Arbeitsplattform umfasst, wobei Foliensätze, deren Aufspannkraft durch Schrauben verstellt werden können, als weiche Scharniere verwendet werden, wodurch die Vibrationsfrequenz separat verstellt werden kann, wobei die Eingenfrequenz der Feinbewegungs-Plattform vor und während der Arbeit verstellt werden kann, wobei die Bewegungsrichtungen der beiden Vorschubelemente vertikal sind.