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액침 액체 한정 장치는 액침 리소그래피 시스템에서 투영계와 노광의 물체 사이에 갭을 포함하는 액침 영역 내에 액침 액체를 한정한다. 이 장치는 또한 액침 영역으로부터 액침 액체를 회수한다. 이 장치는, 한정 부재 및 제 1 및 제 2 액체 투과성 부재를 포함한다. 한정 부재는, 물체 상에 패터닝된 이미지가 투영되는 개구 및 유출구를 포함한다. 제 1 액체 투과성 부재는 유출구를 커버하고, 물체에 면해 있는 제 1 면 및 제 1 면에 대향하는 제 2 면을 가지며, 제 2 면은 제 1 챔버에 접촉한다. 제 2 액체 투과성 부재는 대향하여 면해 있는 제 1 면 및 제 2 면을 가지며, 제 2 액체 투과성 부재의 제 1 면은 제 1 챔버에 접촉하고, 제 2 액체 투과성 부재의 제 2 면은 제 1 챔버와는 상이한 제 2 챔버에 접촉한다. |
