一种机械手

摘要

本发明涉及一种机械手，包括具有承载玻璃基板的承载面的机械手臂，所述承载面上设有通孔，所述机械手臂内部设有与所述通孔相连通的第一通道，所述机械手臂还设有与所述第一通道连通的执行装置，以及用于控制所述执行装置在第一工作状态和第二工作状态之间变化的控制装置；所述第一工作状态为，所述执行装置抽真空以吸附玻璃基板；所述第二工作状态为，所述执行装置在所述第一通道内形成朝向所述通孔的气流，并使得该气流从所述通孔中溢出以在所述玻璃基板和承载面之间形成空气层。本发明有益效果是：在机械手放置玻璃基板时，机械手臂与玻璃基板的完全分离，防止基板偏移或破片。

主权项

一种机械手，包括具有承载玻璃基板的承载面的机械手臂，其特征在于，所述承载面上设有通孔，所述机械手臂内部设有与所述通孔相连通的第一通道，所述机械手臂还设有与所述第一通道连通的执行装置，以及用于控制所述执行装置在第一工作状态和第二工作状态之间变化的控制装置；所述第一工作状态为，所述执行装置抽真空以吸附玻璃基板；所述第二工作状态为，所述执行装置在所述第一通道内形成朝向所述通孔的气流，并使得该气流从所述通孔中溢出以在所述玻璃基板和承载面之间形成空气层。