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发明名称 WAFER CARRYING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07130671(A) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 JP19930271972 申请日期 1993.10.29
申请人 SONY CORP 发明人 KOGA KUNIAKI
分类号 B65G49/07;H01L21/22;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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