| 发明名称 |
METHOD FOR SYNTHESIZING DIAMOND LIKE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07316815(A) |
申请公布日期 |
1995.12.05 |
| 申请号 |
JP19940109661 |
申请日期 |
1994.05.24 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KUROKAWA HIDEO;NAKAGAMI YUICHI |
| 分类号 |
C01B31/06;C23C16/02;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23F4/00;(IPC1-7):C23C16/26 |
主分类号 |
C01B31/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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