高耐热积分柱之制法及其构造

摘要

一种应用于高温操作的空心积分柱的制法，其镜片的组装步骤包括(a)先利用一光固型胶材(如UV胶)使一组镜片得暂时固定成一空心积分柱；(b)然后利用一无机接着剂将该组镜片作永久固定。其中镜片可为全介电质膜的高反射镜，或为在金属膜表面镀上介电质膜作为增强反射和保护膜作用的反射镜；对于全介电质膜，由于镀层数多，为了防止膜应力的翘曲变形，可预先在镜片的背面镀上数层氧化矽(SiOx)质的薄膜以平衡其翘曲。