发明名称 Wafer level package and methods for fabricating the same
摘要 재배선 패턴 상에 폴리머 층 형성 공정을 생략할 수 있는 웨이퍼 레벨 패키지 및 그 형성방법이 제공된다. 웨이퍼 레벨 패키지는 재배선패턴 상에 직접 접촉하는 필러를 포함하는 엔캡슐런트 패턴 내에 외부접속단자가 형성된다. 웨이퍼 레벨 패키지의 형성방법은 재배선 패턴 상에 비아홀을 포함하는 엔캡슐런트 패턴을 먼저 형성한 후에, 상기 비아홀 내에 외부 접속단자를 형성한다.
申请公布号 KR101680082(B1) 申请公布日期 2016.11.29
申请号 KR20100043052 申请日期 2010.05.07
申请人 삼성전자 주식회사 发明人 박상욱;김남석;백승덕
分类号 H01L21/60;H01L23/52 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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