反応器から多結晶質シリコンロッドを取り出す装置及び方法

摘要

反応器から多結晶質シリコンロッドを取り出す装置及び方法本発明は、反応器から多結晶質シリコンロッドを取り出す方法であって、反応器がＵ字形ロッド対を含んでなり、Ｕ字形ロッド対の一つが、外壁及び内壁を有する本体により完全に取り囲まれ、本体が、本体により取り囲まれたＵ字形ロッド対と共に、クレーン、ケーブルホイスト又はグリッパーにより、反応器から取り出される、方法に関する。