真空微系统

摘要

真空微系统，包括一环保型真空泵，其在环保型真空泵的抽气口通过一KF卡箍连接有一手动阀，手动阀的另一接口接一三通，三通的一个接口接一真空表，三通的另一接口接一真空液体粉尘过滤器，在真空液体粉尘过滤器的进气口上接一抽真空软管。本实用新型的真空抽气系统是以带油箱的真空泵为主机，配备手动阀，可以调节流量大小，同时可以开关真空系统。手动阀通过KF卡箍与真空泵连接，可以360°旋转，客户安装使用方便，同时也能很好地密封手动阀与真空泵连接处的密封。设置真空表可以满足对真空度的测量要求，采用真空液体粉尘过滤器，可以使泵免于粉尘与液体的破坏。本实用新型增加软管与真空系统柔性连接，使用安装非常方便。

主权项

1.真空微系统，包括一环保型真空泵(1)，该环保型真空泵(1)包括一油箱(2)，其特征在于，在所述环保型真空泵(1)的抽气口(11)通过一KF卡箍(3)连接有一手动阀(4)，所述手动阀(4)的另一接口接一三通(5)，三通(5)的一个接口接一真空表(6)，所述三通(5)的另一接口接一真空液体粉尘过滤器(7)，在所述真空液体粉尘过滤器(7)的进气口(71)上接一抽真空软管(8)。