| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09181325(A) |
申请公布日期 |
1997.07.11 |
| 申请号 |
JP19960275823 |
申请日期 |
1996.10.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
AOYAMA TAKASHI;OIKAWA SABURO;OKAJIMA YOSHIAKI;KONISHI NOBUTAKE;KAWACHI GENSHIROU;ADACHI HIDEMI;SUZUKI TAKAYA;MIYATA KENJI |
| 分类号 |
C30B29/06;C23C16/24;C30B33/02;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/324;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
