| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING INTEGRATED SEMICONDUCTOR COMPONENTS ON A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1459364(A2) |
申请公布日期 |
2004.09.22 |
| 申请号 |
EP20020804257 |
申请日期 |
2002.11.26 |
| 申请人 |
EPIIC LIMITED |
发明人 |
STAVRINOU, PAUL NICHOLAS;JONES, TIMOTHY SIMON;PARRY, GARETH |
| 分类号 |
G02F1/017;C30B25/12;H01L21/20;H01L21/205;H01S5/026;H01S5/20;H01S5/323;H01S5/40;H01S5/50;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
G02F1/017 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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