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发明名称 DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070044891(A) 申请公布日期 2007.05.02
申请号 KR20050101149 申请日期 2005.10.26
申请人 LG ELECTRONICS INC. 发明人 KIM, MIN SOO
分类号 C23C14/12;C23C14/24 主分类号 C23C14/12
代理机构 代理人
主权项
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