基板载置台及基板处理装置

摘要

〔课题〕提供难以使升降销对载置台本体产生损伤之基板载置台。〔解决手段〕基板载置台具备：载置台本体；和被垂直插通于载置台本体，且被设置成升降自如使对载置台本体表面伸缩，在其前端支撑基板并使予以升降的升降销（30），升降销（30）具有上构件（30b）和下构件（30a），具有在该些境界部（38）之周围设置辅助构件（39）而构成之弯折部（35），升降销（30）位于支撑位置之时，弯折部（35）存在于载置台本体（4a）之表面位置或是更上方位置，弯折部（35）于对升降销（30）施加横方向之力时，被形成以较升降销（30）变形之力小的力弯折。