一种真空排气台

摘要

本实用新型公开了一种真空排气台，包括真空室，为中空长条型结构；在真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，多个第一开口和排气口分别位于真空室的相对两侧壁；阀门，与真空室的排气口连接，其中，真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等；多个尾管座，分别设置在多个第一开口处，尾管座使工件和真空室密封连接。本实用新型使真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等，进而使真空室的流导等于抽真空装置的流导，有效的解决了近端工件与远端工件真空度存在差值的问题，使离阀门距离最远的尾管座上的工件，其真空度也能达到超高真空，并且同一批工件的真空度都处于同一数量级。

主权项

一种真空排气台，其特征在于，包括：真空室，为中空长条型结构；在所述真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，所述多个第一开口和所述排气口分别位于所述真空室的相对两侧壁；阀门，与所述真空室的排气口连接，其中，所述真空室垂直于长方向上的截面面积与所述阀门的横截面积相等；多个尾管座，分别设置在所述多个第一开口处，且连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述真空室密封连接；所述真空室通过所述阀门连接所述抽真空装置，以完成工件的抽排气。