| 摘要 |
一种薄膜电晶体显示元件及其制造方法。薄膜电晶体显示元件系设置于一半穿透半反射式显示器，薄膜电晶体显示元件具有一透光区及一反射区。首先，形成一闸极于一基板上。接着，形成一闸极绝缘层以覆盖该闸极。然后，形成一通道层于该闸极绝缘层上。接着，形成一重掺杂欧姆接触层于该通道层上。然后，电性隔绝地形成一源极金属层和一汲极金属层于该重掺杂欧姆接触层上。接着，形成一保护层覆盖于该闸极、该源极金属层及该汲极金属层。然后，形成一介层洞贯穿保护层，用以暴露出汲极金属层之部分表面。接着，形成一透光区电极于透光区之保护层之上方。接着，形成一反射区电极于反射区之保护层之上方。其中，以一半色调光罩定义介层洞、透光区电极以及反射区电极三者其中之二。 |
