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发明名称 Laser interferometer mirror assembly
摘要
申请公布号 GB2414812(B) 申请公布日期 2007.05.02
申请号 GB20040012429 申请日期 2004.06.03
申请人 NANOBEAM LIMITED 发明人 TAO ZHANG
分类号 G01B9/02;G02B7/18;G03F7/00;G03F7/20 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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