| 发明名称 | 蓝宝石衬底减薄方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种蓝宝石衬底厚度减薄方法，减薄过程包括粘片、粗磨、抛光、去蜡、清洗步骤。通过粘片步骤使用压缩气体施加压力，在粗磨抛光步骤使用变速磨盘转速研磨，在去蜡步骤使用溶蜡的有机溶剂间接加热的方法，从而降低减薄过程中衬底破裂的可能性，提高了产品成品率。 | ||
| 申请公布号 | CN100352067C | 申请公布日期 | 2007.11.28 |
| 申请号 | CN03146936.1 | 申请日期 | 2003.09.23 |
| 申请人 | 深圳市方大国科光电技术有限公司 | 发明人 | 王胜国;许其推;吴启保 |
| 分类号 | H01L33/00(2006.01);H01L21/84(2006.01);B24B1/00(2006.01) | 主分类号 | H01L33/00(2006.01) |
| 代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人 | 郭伟刚 |
| 主权项 | 权利要求书1、一种蓝宝石衬底减薄方法，包含粘片、粗磨、抛光、去蜡、清洗步骤，其中粘片步骤通过加热熔蜡，然后抽真空使得衬底固定到粘片载体上，其中粗磨步骤通过旋转磨盘打磨衬底，其中去蜡步骤通过加热使蜡熔化，从而分离衬底和粘片载体，其特征在于，所述粗磨步骤中采用磨盘变速旋转方式进行研磨，所述变速旋转研磨为刚开始采用15～25rpm的转速旋转研磨，待衬底表面与磨盘表面相吻合时，逐渐加大磨盘转速至50～60rpm的转速旋转研磨，待衬底减薄至180～200μm时，又逐渐降低转速至35～45rpm的转速旋转研磨。 | ||
| 地址 | 518055广东省深圳市南山区西丽龙井方大城 | ||