载置台构造及处理装置

摘要

本发明是在于提供一种可防止在载置台发生大的热应力，进而能够防止该载置台本身破损，且可抑制腐蚀防止用的净化气体的供给量之载置台构造。设于处理装置（20）的处理容器（22）内，用以载置应处理的被处理体（W）之载置台构造（54）具备：设有加热手段（64）之由电介体所构成的载置台（58）、及从上述处理容器的底部侧延伸至上方，可装卸地支持上述载置台（58）之由电介体所构成的圆筒状支柱（56）。在上述载置台（58）的下面接合具有比上述支柱的直径更小的直径之由电介体所构成的圆筒状保护管（60）。在上述保护管（60）内插通具有到达上述载置台（58）的上端之机能棒体（62）。