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이송 장치는, 하우징, 상기 하우징에 장착된 드라이브, 및 상기 드라이브에 연결된 적어도 하나의 이송 아암(transport arm);을 포함하며, 상기 드라이브는, 자기 투과성(magnetic permeable) 물질의 적어도 하나의 돌출극(salient pole)을 구비하며 격리된 환경 내에 배치된 적어도 하나의 회전자(rotor), 대응되는 코일 유닛들을 갖는 적어도 하나의 돌출극을 구비하며 상기 격리된 환경 외부에 배치된 적어도 하나의 고정자(stator)로서 상기 적어도 하나의 고정자의 상기 적어도 하나의 돌출극과 상기 회전자의 상기 적어도 하나의 돌출극이 상기 적어도 하나의 회전자 및 상기 적어도 하나의 고정자 사이에서 폐쇄된 자기 플럭스 회로(closed magnetic flux circuit)을 형성하는 상기 적어도 하나의 고정자, 및 상기 적어도 하나의 고정자와 일체이며(integral), 상기 격리된 환경을 격리시키도록 구성된 적어도 하나의 씰(seal)을 포함한다. |
