发明名称 Verfahren zur Erzeugung eines ohmischen Metall-/Halbleiter-Kontakts
摘要
申请公布号 DE69033271(D1) 申请公布日期 1999.10.07
申请号 DE19906033271 申请日期 1990.02.20
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L., AGRATE BRIANZA 发明人 SANTANGELO, ANTONELLO;MAGRO, CARMELO;FERLA, GIUSEPPE;LANZA, PAOLO
分类号 H01L21/265;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/329;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/60 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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