发明名称 POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR100247843(B1) 申请公布日期 2000.06.01
申请号 KR19920025116 申请日期 1992.12.22
申请人 SUMITOMO CHEMICAL CO.,LTD. 发明人 HASHIMOTO, KAZUHIKO;OSAKI, HARUYOSHI;EBINA, CHINEHITO;NAGASE, KYOKO;MORIUMA, HIROSHI;UETANI, YASUNORI
分类号 C08G8/24;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/23 主分类号 C08G8/24
代理机构 代理人
主权项
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