发明名称 DEPOSITION SOURCE AND DEPOSIT APPARATUS WITH THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060101081(A) 申请公布日期 2006.09.22
申请号 KR20050022946 申请日期 2005.03.19
申请人 SAMSUNG SDI CO., LTD. 发明人 AHN, JAE HONG;SONG, KWAN SEOP;KIM, DO GEUN
分类号 H05B33/10 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
主权项
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