| 发明名称 |
ORGANOCOPPER COMPOUND FOR COPPER THIN FILM FORMATION BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF HIGH-VAPOR PRESSURE ORGANOMETAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0853468(A) |
申请公布日期 |
1996.02.27 |
| 申请号 |
JP19940188347 |
申请日期 |
1994.08.10 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
SAI ATSUSHI;UCHIDA HIROTO;SAITOU NORIYASU;SATO MASAMITSU;OGI KATSUMI |
| 分类号 |
C07F7/08;C23C16/18;(IPC1-7):C07F7/08 |
主分类号 |
C07F7/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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